一、什么是晶圓?
晶圓(Wafer)是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。晶圓是生產集成電路所用的載體,一般意義晶圓多指單晶硅圓片
二、晶圓分析
晶圓分析的重要性
晶圓是半導體制造的重要原材料之一,它是一種表面平整、具有高反射性能的材料。通過對晶圓進行有效的分析,可以了解晶圓的質量和缺陷,進而影響整個半導體制造的工藝流程。在進行晶圓分析時,需要注意以下幾個方面:表面缺陷分析
晶圓表面可能存在各種缺陷,如劃痕、凸起、凹坑等。這些缺陷會影響晶圓的反射性能和透射性能,進而影響半導體制造的精度和穩定性。通過表面缺陷分析,可以及時發現并處理這些缺陷,提高晶圓的合格率。厚度分析
晶圓的厚度是影響半導體制造精度的重要因素之一。如果晶圓的厚度不均勻,會導致反射性能和透射性能的波動,進而影響整個制造工藝流程。通過厚度分析,可以確保晶圓的厚度一致性,提高半導體制造的精度和穩定性。折射率分析
折射率是影響光在晶圓中傳播速度的重要因素之一。如果折射率不匹配,會導致光在晶圓中發生散射,進而影響半導體制造的精度和穩定性。通過折射率分析,可以確保光在晶圓中傳播的穩定性,提高半導體制造的可靠性。晶圓分析是一項重要的半導體制造工藝流程,通過對晶圓進行有效的分析,可以確保半導體制造的質量和穩定性。隨著半導體制造技術的不斷發展,晶圓分析的重要性也將越來越受到重視。
如何進行晶圓分析
在進行晶圓分析時,需要采用一系列的技術和方法,包括表面檢測、厚度測量、折射率測量等。這些技術和方法需要專業的技術人員和設備來進行操作和實施。以下是一些常見的晶圓分析方法:表面檢測技術
表面檢測技術包括光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡、紅外反射儀等。這些技術可以用于檢測晶圓的表面缺陷和反射性能,為晶圓分析提供重要的數據支持。厚度測量方法
厚度測量方法包括激光測厚儀、超聲波測厚儀等。這些方法可以用于測量晶圓的厚度,確保其一致性,為半導體制造提供重要的數據支持。折射率測量方法
折射率測量方法包括光譜儀、干涉儀等。這些方法可以用于測量晶圓的折射率,確保光在晶圓中傳播的穩定性,為半導體制造提供重要的數據支持。 此外,還需要注意一些其他因素,如環境因素、人員因素等對晶圓分析的影響,以確保分析結果的準確性和可靠性。總的來說,進行晶圓分析需要專業的技術人員、先進的設備和嚴格的操作流程。三、什么是玻璃晶圓?
玻璃晶圓是隨著半導體、光學等領域高新技術的發展而出現的一種新型玻璃制品,相比于傳統的玻璃鏡片、玻璃晶圓具有表面質量要求更高、尺寸更薄、加工精度更精密、表面光潔程度要求更嚴苛等特點。
現有技術的半導體工藝設備,如光刻機,等離子刻蝕機,是針對半導體材料晶圓,特別是硅晶圓設計的,機械手普遍采用850nm紅光傳感器。刻蝕設備工作臺主流是靜電吸附被加工的晶圓。常用的光學材料如石英玻璃、K9玻璃,在紅光是透過的,傳感器無法探測,在半導體設備上無法傳送,同時由于是絕緣材料,在靜電場中不產生感應電荷,因而無法在常規等離子刻蝕設備上工藝。為了解決該問題,通常采用在晶圓表面覆蓋金屬膜的方法,存在以下技術缺陷:金屬膜容易被機械手劃傷,同時金屬離子會沾污機械手,導致成品率低,嚴重的甚至會報廢整批產品;如果改造設備,耗資巨大,會影響原來的硅晶圓產線。
如何設計一種玻璃晶圓結構,如何使晶圓在半導體設備上正常加工,如何金屬膜不易被機械手劃傷,成為急需解決的問題。
四、什么是晶圓lot?
晶圓lot就是指柱狀晶圓體。
將圓片沿著劃片槽切割出來的電路單元叫die,圓片叫wafer,柱狀體叫晶圓lot。ic生產時過程中將一批wafer同時下爐制造,因此lot指生產批次號,一般一個lot為24片wafer,工程批的時候也可為12片/lot。wafer就是整個圓片(晶圓),晶圓lot指的是一組wafer一般是12個。晶圓lot是說其實一爐子不只出一盤wafer,一般幾盤放一起做叫一個批次,材料的配比相同工藝流程相同。這同一批次叫一個晶圓lot有些屬性是通的。所以晶圓lot就是同一批出來的十二只晶圓盤片。
五、什么是sio晶圓?
硅晶圓:晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將這些純硅制成長硅晶棒,成為制造積體電路的石英半導體的材料,經過照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。硅晶圓就是指硅半導體電路制作所用的硅晶片,晶圓是制造IC的基本原料。
六、晶圓是晶振嗎?
我們在新聞報道中經常聽到“晶圓 ”和“芯片”兩個詞,而“晶振”則少得多。這主要是因為現在的電子產品,大家大多時候只關注其最核心的部分——CPU(中央處理)。而CPU也是芯片的一種,兩者都是集成電路。在電腦中,主芯片也就是CPU需要和其他的芯片組一起完成指令的收發、運算和執行,如果是CPU是心臟,那么芯片就是軀干。
七、晶圓片為什么是圓的?
晶圓片的由來,是先將二氧化矽經過純化,融解,蒸餾之后,制成矽晶棒,晶圓廠再拿這些矽晶棒研磨,拋光和切片成為晶圓母片;由于圓形的晶圓片本身沒有方向性,不適合電子的傳輸,因此這些晶圓還必須切出一個邊,當做類似三角形的「底」,所以晶圓長得并不像家里的DVD是標準的圓,而是被切掉一個邊,成為有「底」的圓
八、什么是晶圓藍膜?
晶圓藍膜指的是一種太陽光譜選擇性吸收涂層,是沉積在相關金屬表面,用來收集太陽能的吸收涂層,屬新一代太陽能利用技術。
其對太陽輻射能具有極高的吸收率,且其自身發射率很低,可有效提高太陽能光熱轉換效率,藍膜,就是藍鈦。因為其色彩呈現藍色,故而得名。
九、晶圓代工是指什么?
現在的 CPU GPU 等等的芯片什么的都是從晶圓片上切出來的
一大片晶圓可以切成很多的芯片
越靠近圓中心的理論上質量越好
質量較差的就做成型號較低的 (還有良率問題)
所謂晶圓代工,就是專門幫忙生產晶圓片
目前有名的代工廠有臺灣的臺積電、聯電等等
如 Intel、AMD、nVidia 都有找他們代工